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整合运动控制与机器视觉 打造半导体晶元高效能检测平台

2021年03月25日 09:38:26人气:762来源:北京研华兴业电子科技有限公司(研华科技)

本期导读
半导体产业是代表*科学技术力量的重要产业之一,势必成为世界各国必争的战略制高点。为改变高度依赖进口的现状,中国半导体行业必须谋求产业升级,而设备制造是半导体产业的基础,是实现集成电路技术进步的关键,其自主化的重要性不言而喻。
作为智能系统产业的厂商,研华致力于为客户提供软硬件、系统整合解决方案。以研华经典工业计算机IPC-610为代表的系列工业平台广泛应用于各行各业,深受用户信赖。整合研华EtherCAT控制主站卡PCI-1203及PoE千兆网口视觉采集卡PCIE-1674,为半导体设备厂商提供性能出众、稳定可靠的智能化整体解决方案。


方案优势


系统架构

 

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工业级运动控制卡


应用案例
研华半导体晶圆检测移载解决方案
研华半导体晶圆检测移载解决方案,覆盖从上位控制到执行末端等各个环节,包括运动控制卡、工业电脑、伺服电机、视觉检测系统等。研华推出的晶圆检测移载分选机主要应用在划片与固晶工艺之间,分选设备需要在实际运行中解决晶粒在检测移载过程中位置、力量的控制与拿捏,在较短的摆臂周期内的同步性,以及几台摆臂运动控制时的加减速控制等问题。
研华主站控制卡PCI-1203,可轻松应对技术难点。PCI-1203提供扭矩限制表功能以防止在高速取放中顶针因向上过大对晶粒的毁损;针对高加/减速条件下的振动抑制提供PT/PVT功能,支持高达32轴的同步控制,充分展现了EtherCAT高速、高精的控制特性。研华解决方案还包含工业电脑及机器视觉系统,包括Giga/USB视觉采集卡、CameraLink/ CoaXPress视觉采集卡等产品,为客户提供实用而稳定的解决方案。


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