 | 常州金坛恒丰仪器制造有限公司 |
13961201166
在线沟通：
史科平 （经理）
- 电话：
- 0519-82323525.
- 手机：
- 13961201166 13961267755
- 传真：
- 0519-82338692
- 联系我时，
- 告知来自环保在线
- 个性化：
- www.jsjthfyq.com
- 公司网站：
- http://www.hfyqjs.com
离子探针仪器的概念和应用
阅读：3506发布时间：2009-12-16
离子探针是指对金属及非金属材料表面不同深度的元素成份分析，可做全元素分析。应用于半导体材料、冶金建材等部门。离子探针仪器的种类分析：就成像技术而言，可分为扫描型离子微探针（scanning ion microprobes） 和摄像型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小，（φ≤1μm），并在样品上扫描，类似于扫描电镜（SEM）和扫描俄歇微探针（SAM），也叫离子微探针。后者是一次离子束斑较大（φ～300μm），并静止不动，而二次离子光学（secondary ion optics）扫描成像，也叫离子显微镜（ion microscope），空间分辨率～0.2μm。在离子探针迅速发展中，要说明或列出所有不同的仪器是不可能的。概括地说，大致可以分为以下几类：
1.非成像离子探针
2.离子显微镜
3.扫描离子微探针
4.图像解剖离子探针（image dissecting ionprobes）
像离子探针适用于许多不同类型的样品。下面给出一些代表性例子。
1、金属样品
这是理想的样品，不会荷电。首先可用SEM 直接找出感兴趣的分析区。使用剖面样品和使用扫描离子探针，沿剖面线扫描的方法是一种有用的技术，可作为动态SIMS 的补充。可用于金属氧化物成长、腐蚀、焊接、应力失效断裂和晶粒间界偏析等方面的研究。
2、半导体器件
检测掺杂分布剖面和层形结构。随着超大规模集成电路的发展，扫描离子探针分析越来越重要。
3、非导体样品
高聚物和玻璃产品是典型绝缘样品。为子解决荷电问题，火焰光度计已开发出了微聚焦扫描原子束，可以对绝缘样品产生高质量的离子像。但当横向分辨率需优于5μm时，上述源就不能满足要求了。此时仍需用聚焦微离子束。这方面己成功地得到了家蝇复眼的离子像。应用的另一个领域是复合材料，尤其是研究这类材料破裂界面的情况。
本文由/编辑
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，环保在线对此不承担任何保证责任。 温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。